研究表明，紫外線主要是通過對微生物(細菌、病毒、芽孢等病原體)的輻射損傷和破壞核酸的功能使微生物致死，從而達到消毒的目的。 紫外線對核酸的作用可導致鍵和鏈的斷裂、股間交聯和形成光化產物等，從而改變了DNA 的生物活性， 使微生物自身不能復制， 這種紫外線損傷也是致死性損傷。紫外線消毒是一種物理方法， 它不向水中增加任何物質， 沒有副作用，這是它優于氯化消毒的地方，它通常與其它物質聯合使用，常見的聯合工藝有 UV+H2O2、UV+H2O2+O3、UV+TiO2。紫外線是一種肉眼看不見的光波， 存在于光譜紫外線端的外側， 故稱之為紫外線，依據不同的波長范圍，被割分為 A、B、C 三種波段，其中的 C 波段紫外線波長在 240－260nm 之間，為有效的殺菌波段。